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RK GGC-D10坩埚传动装置
  • 用途及特点
  • 规格参数
    产品特点
     
    ●'RK GGC-D10型坩埚传动装置为外置式传动系统；
    ●整个装置分为坩埚水冷部分和传动部分(如图)；两部分结构模块化构成两个整体，对安装、拆卸、维护、修理特别方便简捷。
    ●可承载实际情况下的任意穴位的坩埚；
    ●满足传动轴动密封和磁流体密封互换，任意选用；
    ●坩埚可从真空室体上方取出，方便清洁维护；
    ●强大扭矩有效防止步进电机丢步情况发生。
    技术指标
     
    ●安装条件：竖直安装；真空室底板开孔为φ40mm～φ60mm;
    ●采用减速电机传动：减速器减速比为1:32，电机为步进电机；
    ●传动方式：中心主轴传动；
    ●冷却水速率：10L/分～20L/分(水温需在15℃～25℃)；
    ●转动扭矩：74Nm。

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